Tấm silicon là một trong những nguyên liệu thô quan trọng nhất trong ngành công nghiệp điện tử, chủ yếu được sử dụng để sản xuất mạch tích hợp, tụ điện, điốt và các linh kiện khác. Mạch tích hợp là các mạch nhỏ bao gồm một số lượng lớn các thành phần cơ bản như bóng bán dẫn, tụ điện, điện trở, v.v., có thể được sử dụng trong nhiều thiết bị điện tử khác nhau như máy tính, thiết bị liên lạc và thiết bị giải trí. Tấm silicon bán dẫn là một trong những vật liệu cốt lõi để sản xuất mạch tích hợp. Kích thước của tấm silicon bán dẫn được chia thành 2 inch (50,8mm), 4 inch (100mm), 6 inch (150mm), 8 inch (200mm) và 12 inch (300mm) theo đường kính. Các kích thước và quy trình wafer silicon khác nhau được sử dụng cho các sản phẩm bán dẫn khác nhau.
Ưu điểm của tấm silicon cỡ lớn
Số lượng chip được sản xuất trên một tấm wafer silicon tăng lên: Tấm wafer càng lớn thì càng có ít chất thải ở các cạnh, giúp cải thiện tỷ lệ sử dụng tấm wafer silicon và giảm chi phí. Lấy tấm silicon 300mm làm ví dụ, diện tích khả dụng của nó gấp đôi so với tấm silicon 200mm trong cùng một quy trình, có thể mang lại lợi thế về năng suất lên tới 2,5 lần số lượng chip.
Tỷ lệ sử dụng tổng thể của tấm silicon được cải thiện: Việc chế tạo tấm silicon hình chữ nhật trên tấm silicon tròn sẽ khiến một số khu vực ở các cạnh của tấm silicon không thể sử dụng được và việc tăng kích thước của tấm silicon sẽ làm giảm tỷ lệ tổn thất của các cạnh không được sử dụng.
Công suất thiết bị được cải thiện: Trong điều kiện quy trình cơ bản: lắng đọng màng mỏng → in thạch bản → khắc → làm sạch và các điều kiện phát triển cơ bản khác không thay đổi, thời gian sản xuất trung bình của chip được rút ngắn, tốc độ sử dụng thiết bị được cải thiện và năng lực sản xuất của công ty được mở rộng.
