Mục đích của việc làm sạch wafer silicon là gì?

Tấm silicon phải được làm sạch nghiêm ngặt trong quá trình sản xuất thiết bị bán dẫn. Ô nhiễm dấu vết cũng có thể dẫn đến lỗi thiết bị. Vậy mục đích của việc làm sạch wafer silicon là gì?
Mục đích của việc làm sạch tấm silicon là loại bỏ các tạp chất ô nhiễm bề mặt, bao gồm các chất hữu cơ và vô cơ. Một số tạp chất này tồn tại ở trạng thái nguyên tử hoặc trạng thái ion, và một số tồn tại ở dạng màng mỏng hoặc hạt trên bề mặt tấm wafer silicon. dẫn đến những khiếm khuyết khác nhau.